北京青年報記者獲悉，中關(guān)村科學(xué)城企業(yè)——北京中科飛龍傳感技術(shù)有限責(zé)任公司（以下簡稱“中科飛龍”）自主研發(fā)的高性能MEMS（微機電系統(tǒng)）電場傳感器，突破了設(shè)計、制造、封裝測試及可靠性等多項關(guān)鍵技術(shù)，發(fā)明了國際最高分辨力的MEMS電場敏感芯片，并在國際上首次實現(xiàn)了MEMS電場傳感器的落地應(yīng)用。
中科飛龍于2015年底注冊成立，是一家從事高端傳感器系列產(chǎn)品研發(fā)、生產(chǎn)、銷售的國家高新技術(shù)企業(yè)，總部位于海淀區(qū)中關(guān)村科學(xué)城四季科創(chuàng)中心。在中科飛龍展示大廳里，北青報記者看到了長、寬僅有5毫米的MEMS電場敏感芯片。據(jù)中科飛龍聯(lián)合創(chuàng)始人、總工程師楊鵬飛介紹，這枚芯片在航空航天、國防、雷電預(yù)警、安全生產(chǎn)、智慧電網(wǎng)、石油石化、風(fēng)力發(fā)電等領(lǐng)域發(fā)揮著關(guān)鍵作用。
“當(dāng)前廣泛使用的非侵入式靜電壓傳感器，其核心敏感元件嚴(yán)重依賴國外進(jìn)口。高性能MEMS電場敏感芯片與非侵入式靜電壓傳感器的核心敏感元件功能類似，有望實現(xiàn)靜電探測核心敏感元件的國產(chǎn)化替代?！睏铢i飛說。
據(jù)介紹，基于MEMS電場敏感芯片研發(fā)的大氣電場儀及氣象雷電預(yù)警系統(tǒng)已在房山、順義等區(qū)的部分大型油庫里落地應(yīng)用。預(yù)警系統(tǒng)通過測量大氣電場強度、獲取閃電定位等信息，精準(zhǔn)預(yù)測未來兩小時內(nèi)油庫所在區(qū)域是否會發(fā)生雷電，為安全生產(chǎn)提供技術(shù)支撐。
此外，高性能MEMS電場敏感芯片還在高空電場探測、石油化工靜電檢測、電子信息制造、火工品生產(chǎn)等多個場景開展了實際應(yīng)用。中科飛龍開發(fā)出了MEMS大氣電場儀、MEMS高空電場傳感器、MEMS靜電傳感器、MEMS油面電位計等系列化產(chǎn)品。
楊鵬飛表示，中科飛龍正在全力開發(fā)基于高性能MEMS電場敏感芯片的“硬壓板狀態(tài)監(jiān)測傳感器”及配套系統(tǒng)，今后有望在電網(wǎng)繼電保護(hù)裝備中實現(xiàn)規(guī)模化應(yīng)用。此外，中科飛龍今年布局研發(fā)的高精度氣壓傳感器，未來將在本市機場航空領(lǐng)域落地應(yīng)用，實現(xiàn)關(guān)鍵核心技術(shù)的國產(chǎn)化替代。
文/北京青年報記者 王斌
編輯/高艷
