原標(biāo)題：感知利器｜MEMS垂直梳齒微鏡面驅(qū)動器制作方法
工欲善其事，必先利其器。在全球化的今天，專利已不僅僅是創(chuàng)新的一種保護(hù)手段，它已成為商業(yè)戰(zhàn)場中的利器。麥姆斯咨詢傾情打造MEMS、傳感器以及物聯(lián)網(wǎng)領(lǐng)域的專利運營平臺，整合全產(chǎn)業(yè)鏈知識產(chǎn)權(quán)資源，積極推動知識產(chǎn)權(quán)保護(hù)與有效利用。
全新的博世交互式激光投影微型掃描儀BML050
全球領(lǐng)先的制造商博世在2017年移動通信世界大會上，推出了一款集成微型紅外掃描器和激光投影儀的組合產(chǎn)品BML050，能夠?qū)⑷魏挝矬w表面變成虛擬用戶界面，該掃描儀包括兩個微型MEMS反射鏡，借此可將一個RGB彩色激光投射至所有表面，由此創(chuàng)建投影圖像。
利用MEMS微鏡的激光掃描技術(shù)除了應(yīng)用于微型投影儀和抬顯（HUD）市場外，還可以應(yīng)用于廣泛的新興市場和領(lǐng)域，例如AR/MR智能眼鏡、激光雷達(dá)（LIDAR）、智能激光車頭燈、生物醫(yī)療檢測影像掃描、人際交互感應(yīng)以及3D深度攝像頭等領(lǐng)域。
據(jù)麥姆斯咨詢報道，此前，荷蘭的Innoluce公司利用MEMS微鏡技術(shù)開發(fā)出了新的LIDAR系統(tǒng)，預(yù)計其激光雷達(dá)規(guī)?；慨a(chǎn)后的成本價格不超過100美元。由于該技術(shù)，2016年，汽車半導(dǎo)體巨頭英飛凌收購了Innoluce公司。
而對基于MEMS微鏡的激光掃描技術(shù)感興趣的巨頭，遠(yuǎn)不止英飛凌一家。2012 年， MEMS行業(yè)巨頭意法半導(dǎo)體收購了以色列bTendo公司，獲得這家公司的靜電驅(qū)動一維MEMS激光掃描投影技術(shù)。2015年，英特爾并購瑞士Lemoptix公司，現(xiàn)在已經(jīng)將這家公司的MEMS激光掃描芯片應(yīng)用于自己的Remote EyeSight增強(qiáng)現(xiàn)實（AR）智能眼鏡。根據(jù)市場研究公司IHS Markit的預(yù)測，2017年至2020年間，全球MEMS掃描鏡市場營收規(guī)模的復(fù)合年均增長率可達(dá)18%。
【推薦發(fā)明專利】
《MEMS垂直梳齒微鏡面驅(qū)動器的制作方法》
【技術(shù)背景】
基于MEMS技術(shù)制作的微鏡面驅(qū)動器有很多驅(qū)動方式，例如靜電驅(qū)動方式、壓電驅(qū)動方式等。其中，采用靜電驅(qū)動方式的MEMS微鏡面驅(qū)動器由于具有結(jié)構(gòu)簡單、與微電子制作工藝兼容性好、可大批量制造、體積小等優(yōu)點而受到廣泛關(guān)注。
靜電驅(qū)動的微鏡面驅(qū)動器通常有平板驅(qū)動結(jié)構(gòu)和梳齒驅(qū)動結(jié)構(gòu)。在梳齒驅(qū)動結(jié)構(gòu)中，微鏡面可以在較小的驅(qū)動電壓下獲得較大的扭轉(zhuǎn)角度或者微鏡運動量。因此，在應(yīng)用中，相對平板驅(qū)動結(jié)構(gòu)，梳齒驅(qū)動結(jié)構(gòu)具有更大的優(yōu)勢，但其結(jié)構(gòu)相對更為復(fù)雜，且制作難度也更大。
【發(fā)明內(nèi)容】
現(xiàn)有技術(shù)中，體硅微機(jī)械技術(shù)在制作垂直梳齒微鏡面驅(qū)動器時，由于需要制作高低交錯的立體垂直梳齒結(jié)構(gòu)，因此較難控制上下垂直梳齒的光刻對準(zhǔn)，并且在釋放上下垂直梳齒時工藝制作難度大，成品率低。
本發(fā)明提出了一種新型的MEMS垂直梳齒微鏡面驅(qū)動器的制作方法，主要是利用具有雙層硅器件層的SOI硅結(jié)構(gòu)，并利用雙層掩膜，制作出自對準(zhǔn)的高低交錯的垂直梳齒結(jié)構(gòu)，同時利用雙拋硅片和SOI硅結(jié)構(gòu)進(jìn)行硅硅鍵合簡化垂直梳齒結(jié)構(gòu)的釋放工藝。
本發(fā)明具有如下優(yōu)點：
1、本發(fā)明在制作垂直梳齒時，創(chuàng)造性地提供了厚度不等的雙層掩膜，可以很容易地制作出具有自對準(zhǔn)高低梳齒結(jié)構(gòu)的垂直梳齒微鏡面驅(qū)動器，同時制作難度小，成品率高；
2、本發(fā)明技術(shù)方案優(yōu)選地采用了具有雙層硅器件層的SOI硅結(jié)構(gòu)，可以精確地控制上下垂直梳齒的厚度；
3、本發(fā)明技術(shù)方案采用了雙拋硅片和SOI硅結(jié)構(gòu)片再次進(jìn)行硅硅鍵合以簡化垂直梳齒結(jié)構(gòu)的釋放工藝。
【其它MEMS微鏡相關(guān)專利】
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【相關(guān)報告】
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