MEMS技術主要屬于微米技術范疇，?它基于微電子技術和微加工技術兩大部分。?
MEMS（?微機電系統(tǒng)）?技術是一項革命性的新技術，?廣泛應用于高新技術產(chǎn)業(yè)，?是集微傳感器、?微執(zhí)行器、?微機械結構、?微電源微能源、?信號處理和控制電路、?高性能電子集成器件、?接口、?通信等于一體的微型器件或系統(tǒng)。?MEMS技術的核心在于其能夠在微米甚至納米量級上實現(xiàn)高度集成和功能化的微型系統(tǒng)，?這得益于其在微電子技術（?如半導體制造技術）?基礎上發(fā)展起來的多種技術，?包括光刻、?腐蝕、?薄膜、?LIGA技術、?硅微加工、?非硅微加工和精密機械加工等。?
MEMS技術的應用領域廣泛，?包括但不限于新型顯示、?投影設備、?通信系統(tǒng)、?射頻設備等。在通信系統(tǒng)方面，?MEMS技術通過微鏡的物理運動來控制光路發(fā)生預期的改變，?成功應用于光開關調(diào)制器、?光濾波器及復用器等光通信器件。?此外，?MEMS技術的優(yōu)勢還包括高表面體積比、?批量生產(chǎn)能力、?高度集成化以及多學科交叉的特點，?這些優(yōu)勢使得MEMS成為構筑物聯(lián)網(wǎng)的基礎物理感知層傳感器的最主要選擇之一。
MEMS（微機電系統(tǒng)）技術是一個多學科交叉的前沿研究領域，主要包括以下幾個部分：
傳感MEMS技術：這部分技術使用微電子微機械加工方法制造，利用敏感元件（如電容、壓電、壓阻、熱電耦、諧振、隧道電流等）來感受和轉(zhuǎn)換電信號。這些傳感器包括速度、壓力、濕度、加速度、氣體、磁、光、聲、生物、化學等各種類型。
生物MEMS技術：這部分技術涉及使用MEMS技術制造的化學/生物微型分析和檢測芯片或儀器。這些器件包括微型驅(qū)動泵、微控制閥、通道網(wǎng)絡、樣品處理器、混合池、計量、增擴器、反應器、分離器以及檢測器等，能夠?qū)崿F(xiàn)樣品的進樣、稀釋、加試劑、混合、增擴、反應、分離、檢測和后處理等分析全過程。
光學MEMS技術：這部分技術結合了微電子、微機械和光電子技術，用于開發(fā)新型光器件，也稱為微光機電系統(tǒng)(MOEMS)。這些系統(tǒng)能夠?qū)EMS結構件與微光學器件、光波導器件、半導體激光器件、光電檢測器件等集成在一起，形成全新的功能系統(tǒng)。
射頻MEMS技術：這部分技術傳統(tǒng)上分為固定和可動兩類。固定MEMS器件包括本體微機械加工傳輸線、濾波器和耦合器，而可動MEMS器件包括開關、調(diào)諧器和可變電容。
以上是MEMS技術的主要組成部分，它們在不同的應用領域，如醫(yī)療、汽車、運動追蹤和消費電子產(chǎn)品等方面有著廣泛的應用。
