MEMS傳感器將是未來傳感器最重要的類型之一，許多傳統(tǒng)感測傳感器都在不斷MEMS化。
本文整理了中國主要的MEMS傳感器芯片產(chǎn)線和最新進(jìn)展情況，信息截止2022年1月，是目前最齊全的MEMS產(chǎn)線生產(chǎn)信息盤點(diǎn)。主要有企業(yè)IDM產(chǎn)線、代工產(chǎn)線、中試線、研發(fā)平臺等，共計(jì)33條MEMS傳感器芯片產(chǎn)線信息。
1、美新半導(dǎo)體 （IDM）
美新半導(dǎo)體（MEMSIC）是全球領(lǐng)先的慣性MEMS傳感器及解決方案提供商，于1999年成立, 目前總部位于中國天津，2007年在美國納斯達(dá)克上市，是全球MEMS第一股。
美新半導(dǎo)體在無錫建有8英寸MEMS磁、慣性傳感器封測產(chǎn)線。2021年7月，據(jù)紹興濱海新區(qū)管委會公示公告，美新半導(dǎo)體將在紹興建設(shè)MEMS磁傳感器生產(chǎn)線及加速度傳感器工藝開發(fā)實(shí)驗(yàn)線，該產(chǎn)線預(yù)計(jì)年產(chǎn)6億顆MEMS芯片。
2、賽微電子 （代工）
賽微電子2015年在深交所創(chuàng)業(yè)板上市，重點(diǎn)發(fā)展MEMS工藝開發(fā)與晶圓制造業(yè)務(wù)，2016年全資收購瑞典MEMS芯片制造商SilexMicrosystemsAB，提供壓力、慣性、紅外、微鏡、光開關(guān)、硅麥克風(fēng)等多種MEMS工藝開發(fā)及晶圓制造的服務(wù)。
根據(jù)半導(dǎo)體市場研究機(jī)構(gòu)Yole Development統(tǒng)計(jì)的2020年數(shù)據(jù)，Silex Microsystems AB 在全球MEMS純晶圓代工排名中位居第一，全球MEMS芯片代工市場（不包含IDM廠商自身制造部分的統(tǒng)計(jì)）的占有率約為8%。
同年，引入戰(zhàn)略股東北京集成電路制造和裝備股權(quán)投資基金，在北京啟動(dòng)建設(shè)8英寸MEMS國際代工線建設(shè)項(xiàng)目。
2021年6月北京8英寸MEMS產(chǎn)線（北京FAB3）一期建成生產(chǎn)，目前月產(chǎn)約1萬片。FAB3二三期工程正在進(jìn)行，全部投產(chǎn)后，預(yù)計(jì)FAB3總產(chǎn)能達(dá)3萬片每月。
2021年10月賽微電子旗下Silex專項(xiàng)技術(shù)出口許可申請被瑞典當(dāng)局否決，賽微電子將無法通過子公司Silex獲取相關(guān)MEMS技術(shù)，需要自主獨(dú)立探索后續(xù)MEMS技術(shù)細(xì)節(jié)。
▲賽微電子董事長楊云春手持北京FAB3生產(chǎn)的8英寸MEMS麥克風(fēng)晶圓
3、東方微磁 （IDM）
湖北宜昌東方微磁有限公司是中國船舶重工集團(tuán)公司第七一〇研究所全資子公司，是一家致力于磁學(xué)計(jì)量和中國磁電產(chǎn)業(yè)發(fā)展的高新技術(shù)企業(yè)，建有國防科技工業(yè)弱磁一級計(jì)量站、磁電子技術(shù)國家地方聯(lián)合工程實(shí)驗(yàn)室、湖北省磁電子工業(yè)技術(shù)研究院，擁有國內(nèi)第一條MEMS磁傳感器芯片生產(chǎn)線。
東方微磁的MEMS生產(chǎn)線2015年底全部調(diào)通，是國內(nèi)首條可滿足工業(yè)化生產(chǎn)的磁芯片生產(chǎn)線，保守產(chǎn)能為1000片/月，每年至少可生產(chǎn)月2億顆芯片，共有濺射鍍膜、光刻、真空、測試等設(shè)備進(jìn)60臺。
4、昊潤科技 （IDM）
山東昊潤自動(dòng)化技術(shù)有限公司從事硅壓阻、硅電容OEM傳感器，通用型、智能型及行業(yè)專用型自動(dòng)化測控儀表的設(shè)計(jì)研發(fā)和規(guī)模化制造。
2011年歐洲經(jīng)濟(jì)危機(jī)期間，昊潤科技收購芬蘭VTI公司3D-MEMS 硅電容傳感器全套生產(chǎn)線，并引進(jìn)其核心技術(shù)。因此，昊潤科技擁有自己的3D-MEMS技術(shù)和硅電容傳感器生產(chǎn)線，年生產(chǎn)規(guī)模1500萬只。
5、中芯集成電路制造（紹興）（代工）
2018年3月由中芯國際、紹興市政府、盛洋集團(tuán)共同出資設(shè)立中芯集成電路制造（紹興）有限公司。同年5月，總投資58.8億元的中芯集成電路制造（紹興）項(xiàng)目開工奠基，該項(xiàng)目用地207.6畝，新建14.65萬平米的廠房，建設(shè)一條集成電路8寸芯片制造生產(chǎn)線和一條模組封裝生產(chǎn)線。
中芯國際的MEMS方案主要集中在MEMS麥克風(fēng)、加速度計(jì)、陀螺儀、壓力、顯微鏡、超聲波傳感器、射頻器件。
中芯集成一期規(guī)劃10萬片8英寸晶圓月產(chǎn)能。于2020年1月正式投產(chǎn)，5年內(nèi)持續(xù)投資近60億人民幣建設(shè)達(dá)產(chǎn)，形成芯片年出貨51萬片和模組年出貨19.95億顆的產(chǎn)業(yè)規(guī)模，規(guī)?；慨a(chǎn)麥克風(fēng)、慣性、射頻、MOSFET以及IGBT等產(chǎn)品的芯片和模組，實(shí)現(xiàn)年銷售收入達(dá)40億人民幣，稅收4.1億元，凈利2億元。
2020年第四季度一期產(chǎn)能擴(kuò)產(chǎn)至每月4萬片晶圓，近期其成功完成晶圓設(shè)備鏈調(diào)試，8英寸晶圓月產(chǎn)能增至7萬片，良品率達(dá)99%。
▲中芯集成電路制造（紹興）廠房
6、上海先進(jìn)半導(dǎo)體（代工）
上海先進(jìn)半導(dǎo)體前身是1988年中荷合資的上海飛利浦半導(dǎo)體公司，經(jīng)過多次改制后，2019年被上海積塔半導(dǎo)體吸收合并，改制為上海先進(jìn)半導(dǎo)體制造有限公司。
先進(jìn)半導(dǎo)體由傳統(tǒng)模擬芯片代工廠轉(zhuǎn)型MEMS代工， 目前有5英寸、6英寸、8英寸晶圓生產(chǎn)線，MEMS生產(chǎn)線可以代工的器件包括：三軸陀螺 儀、加速度計(jì)、生物MEMS芯片、光學(xué)MEMS、RFMEMS、微流體開關(guān)、壓力傳感器等，可被廣泛應(yīng)用于消費(fèi)電子、醫(yī)療電子以及汽車電子等領(lǐng)域。
目前，該MEMS生產(chǎn)平臺擁有世界最先進(jìn)的深槽刻蝕、鍵合、硅片邊緣修整等設(shè)備，設(shè)計(jì)月產(chǎn)量可達(dá)3000片。
▲上海先進(jìn)半導(dǎo)體
7、華潤微電子（IDM&代工）
華潤微電子是2002年華潤集團(tuán)收購華晶集團(tuán)改組而成，總部位于無錫，擁有3條6英寸線，其中MEMS產(chǎn)線是國內(nèi)規(guī)模最大的與CMOS生產(chǎn)線兼容的MEMS傳感器量產(chǎn)生產(chǎn)線，具有國內(nèi)領(lǐng)先水平的 MEMS 表面和體硅加工技術(shù)，用于制造壓力、硅麥克風(fēng)、光電、溫濕度等MEMS傳感器。
華潤微電子8吋MEMS的3000片/月產(chǎn)能擴(kuò)充已經(jīng)完成，并投入使用。光電及MEMS麥克風(fēng)工藝平臺從6英寸升級到8英寸，實(shí)現(xiàn)批量生產(chǎn)，產(chǎn)品性能及良率水平優(yōu)秀；整體提升了其MEMS工藝技術(shù)水平和競爭能力。
▲華潤微電子
8、華虹宏力（代工）
華虹由原上海華虹NEC電子有限公司和上海宏力半導(dǎo)體制造有限公司合并而成，自建設(shè)中國大陸第一條8英寸（200mm）集成電路生產(chǎn)線起步，華虹宏力在上海金橋和張江共有三座8英寸晶圓廠（華虹一廠、二廠及三廠），月產(chǎn)能約18萬片。
在8英寸制造平臺上，華虹實(shí)現(xiàn)MEMS器件與標(biāo)準(zhǔn)CMOS工藝及生產(chǎn)線的全兼容。已流片的產(chǎn)品包括磁力計(jì)、加速度計(jì)、壓力傳感器等。
▲上海華虹宏力三廠
9、德爾森 （IDM）
德爾森集團(tuán)是一家中德合作的高新技術(shù)企業(yè)，集團(tuán)總部與產(chǎn)品設(shè)計(jì)中心位于德國法蘭克福和中國南京。
德爾森與南京市共同建立江蘇MEMS智能傳感器研究院，投資1.04億元建有基于德國CIS研究院技術(shù)的MEMS壓力傳感器芯片產(chǎn)線。
10、英特神斯科技 （代工）
江蘇（南京）英特神斯科技有限公司是全球MEMS軟件巨頭美國Intellisense的中國戰(zhàn)略研發(fā)機(jī)構(gòu)，在江蘇南京建有MEMS傳感器芯片工藝線，與北京大學(xué)、清華大學(xué)、中國科學(xué)院等眾多科研機(jī)構(gòu)建立了戰(zhàn)略合作關(guān)系。
11、力盛芯 （IDM）
力盛芯（洛陽）電子科技公司是由臺灣LED產(chǎn)業(yè)之父石修投資建立的企業(yè)，主要生產(chǎn)微機(jī)電工藝傳感器、硅基微型聚光斗芯片和微機(jī)電工藝集成電路代工制造三大類產(chǎn)品。2017年總投資9億元，約5萬平方米的8英寸MEMS芯片廠正式投產(chǎn)。
12、浙江芯動(dòng)科技（代工）
浙江芯動(dòng)科技有限公司位于浙江省嘉興市，是一家專注高端MEMS代工并擁有自主知識產(chǎn)權(quán)的生產(chǎn)加工企業(yè)，是納杰微電子旗下公司。
芯動(dòng)科技擁有先進(jìn)的6英寸MEMS芯片產(chǎn)業(yè)化生產(chǎn)線，工藝能力涵蓋MEMS芯片生產(chǎn)全過程，生產(chǎn)壓力、加速度計(jì)、陀螺儀，光鏡和生物醫(yī)學(xué)等MEMS傳感器芯片產(chǎn)品。
芯動(dòng)科技目前已投入1億多用于產(chǎn)線的建設(shè)，計(jì)劃聯(lián)合資本方在未來2-3年投入5億元人民幣繼續(xù)完善制造基地的相關(guān)設(shè)備設(shè)施。該基地目前建筑面積為3000平方米，是中國最先進(jìn)的MEMS器件加工平臺之一，具備芯片制造、封裝測試等一系列的能力。
▲浙江芯動(dòng)科技廠房
13、睿創(chuàng)微納（IDM）
睿創(chuàng)微納總部位于山東煙臺，是從事專用集成電路、紅外熱像芯片及MEMS傳感器設(shè)計(jì)與制造的企業(yè)。
睿創(chuàng)微納的8英寸MEMS晶圓生產(chǎn)線由公司與代工廠共建，已量產(chǎn)，月產(chǎn)能1500片晶圓。
2020年7月，與煙臺開發(fā)區(qū)簽署協(xié)議，建設(shè)一條8英寸MEMS工藝線和一條化合物半導(dǎo)體工藝線。其中，化合物半導(dǎo)體芯片工藝線面向半導(dǎo)體激光器、光電探測器、微波器件以及功率器件；MEMS工藝線面向高端光學(xué)MEMS器件、RF MEMS器件和慣性MEMS傳感器等。
▲睿創(chuàng)微納
14、罕王微電子（IDM&代工）
罕王微電子是一家以MEMS傳感器設(shè)計(jì)及制造生產(chǎn)為核心的高科技中美合資企業(yè)，總部位于遼寧省沈撫新區(qū)，系罕王集團(tuán)控股子公司。
罕王微電子2016年收購美信旗下MEMS傳感器業(yè)務(wù)，2018年建成國內(nèi)首條8英寸純MEMS規(guī)?；慨a(chǎn)線，工藝能力涵蓋MEMS芯片生產(chǎn)全流程，設(shè)計(jì)晶圓產(chǎn)能36萬片/年。生產(chǎn)傳感器包括：陀螺儀、IMU慣性測量單元、射頻RF-MEMS及加速度、溫度、濕度、壓力、應(yīng)力傳感器等。
15、河北美泰（IDM）
中國電子科技集團(tuán)第十三研究所全資子公司，2015年中電十三所的6英寸SOI MEMS標(biāo)準(zhǔn)加工技術(shù)及在高性能MEMS 器件中的應(yīng)用通過科技部組織的專家驗(yàn)收。
6英寸SOI MEMS標(biāo)準(zhǔn)工藝和封裝技術(shù)用于MEMS陀螺儀、加速度計(jì)、振動(dòng)傳感器、碰撞傳感器、MEMS光開關(guān)、VOA及壓力傳感器等高性能MEMS器件的批量加工，美泰科技6英寸產(chǎn)線月產(chǎn)能達(dá)到1萬片。
16、廈門西人馬（IDM）
西人馬（FATRI）是一家芯片IDM公司，旗下西人馬聯(lián)合測控（泉州）科技有限公司（FATRI UTC）成立于2017年，是西人馬MEMS高端傳感器和芯片制造基地，占地70畝，建筑面積20000㎡，具有6000㎡的超凈車間和先進(jìn)微納米研究實(shí)驗(yàn)室，配備8英寸向下兼容6英寸的MEMS智能傳感器芯片產(chǎn)線和中國先進(jìn)的MEMS器件加工平臺。
西人馬19年11月獲得朗潤基金數(shù)千萬A輪融資，20年一季度獲得A+輪的1億元人民幣融資，2021年3月獲B輪融資，發(fā)展迅速，西人馬已經(jīng)成為國內(nèi)MEMS領(lǐng)域IDM芯片公司的鰲頭，紅外和壓力傳感器每日產(chǎn)量可以達(dá)到幾十萬顆。
17、廣州奧松電子（IDM&代工）
奧松電子成立于2003年，專注于MEMS半導(dǎo)體工藝技術(shù)，是國內(nèi)率先應(yīng)用MEMS半導(dǎo)體工藝技術(shù)生產(chǎn)傳感器芯片的高新技術(shù)企業(yè)，也是廣東省MEMS領(lǐng)域集研發(fā)、設(shè)計(jì)、制造、封裝測試、終端應(yīng)用為一體的MEMS智能傳感器全產(chǎn)業(yè)鏈（簡稱IDM）企業(yè)。
2020年9月，廣州奧松電子有限公司6英寸MEMS半導(dǎo)體傳感器芯片生產(chǎn)線正式投入運(yùn)營，成功量產(chǎn)出溫濕度、流量、氣體、差壓、風(fēng)速等傳感器芯片。
奧松電子MEMS半導(dǎo)體生產(chǎn)線一期工程為500納米MEMS半導(dǎo)體工藝制程，生產(chǎn)設(shè)備約占整個(gè)投資規(guī)模的70%。根據(jù)規(guī)劃，2021年二期工程建成350納米制程工藝MEMS半導(dǎo)體生產(chǎn)線；2022年三期工程將建成180納米制程工藝MEMS半導(dǎo)體生產(chǎn)線；總項(xiàng)目全部建成投產(chǎn)后，每月流片規(guī)模將達(dá)到4萬片，
2021年8月，奧松電子官網(wǎng)宣布對外開放MEMS芯片代工業(yè)務(wù)，包括設(shè)備共享、技術(shù)支持、企業(yè)孵化等服務(wù)。
2021年4月奧松電子控股的全資子公司——奧松半導(dǎo)體（珠海）有限公司，將在珠海高新技術(shù)產(chǎn)業(yè)開發(fā)區(qū)建設(shè)8英寸先進(jìn)MEMS特色半導(dǎo)體IDM產(chǎn)業(yè)基地項(xiàng)目。該項(xiàng)目建成后，將成為國內(nèi)先進(jìn)的MEMS芯片及智能傳感器產(chǎn)業(yè)集群，提高M(jìn)EMS芯片的代工和量產(chǎn)能力。
18、諾思微系統(tǒng)（IDM）
諾思微系統(tǒng)位于天津，是一家無線設(shè)備射頻前端MEMS濾波芯片服務(wù)商，其產(chǎn)品主要采用薄膜體聲波諧振器(FBAR)技術(shù)以及硅襯底的微機(jī)電系統(tǒng)(MEMS)制造技術(shù)，同時(shí)為無線射頻濾波器、雙工器、和多工器等提供解決方案。
諾思微已投產(chǎn)一條6英寸MEMS晶圓生產(chǎn)線和一條4英寸工藝研發(fā)線。廠房和研發(fā)中心總占地面積2.7萬平方米。
2021年3月，國家重點(diǎn)研發(fā)計(jì)劃制造基礎(chǔ)技術(shù)與關(guān)鍵部件重點(diǎn)專項(xiàng)項(xiàng)目硅基MEMS壓電薄膜及器件關(guān)鍵技術(shù)與平臺的項(xiàng)目在諾思微系統(tǒng)啟動(dòng)，針對5G/6G無線通訊、物聯(lián)網(wǎng)等對射頻濾波器、智能傳感器提出新的技術(shù)要求，對實(shí)現(xiàn)晶圓級硅基MEMS壓電器件的大規(guī)模生產(chǎn)、擺脫我國目前關(guān)鍵MEMS壓電器件受制于人的局面，有重要意義。
2021年8月完成4億元融資，預(yù)計(jì)在一年內(nèi)全面加速產(chǎn)能釋放，達(dá)年產(chǎn)20億顆濾波器芯片的產(chǎn)能規(guī)模。
19、多維科技（IDM&代工）
成立于2010年，總部在江蘇張家港，建設(shè)有完整的第四代磁傳感技術(shù)——隧道磁電阻（TMR）的磁性感應(yīng)芯片產(chǎn)線。
多維科技的磁傳感器晶圓代工廠擁有6英寸和8英寸MEMS晶圓產(chǎn)線，提供完整的磁傳感器（AMR / GMR / TMR）開發(fā)及晶圓制造服務(wù)（包括設(shè)計(jì)、制造和測試），年產(chǎn)10億個(gè)TMR磁傳感器。
2021年5月多維科技獲4億元融資，將用于對現(xiàn)有產(chǎn)線進(jìn)行升級，能夠進(jìn)一步強(qiáng)化自研、自產(chǎn)、技術(shù)領(lǐng)先的核心競爭力。
20、湖南啟泰傳感科技（IDM）
2006年成立，總部在湖南瀏陽。啟泰傳感以王國秋教授為首的科研團(tuán)隊(duì)攻克了異質(zhì)膜關(guān)鍵工藝與技術(shù)，建設(shè)國內(nèi)第一條金屬基薄膜力敏芯片——MEMS壓敏傳感芯片生產(chǎn)線，是世界上少數(shù)幾家具有金屬濺射薄膜壓敏芯片規(guī)模化生產(chǎn)能力的公司之一。
2019年8月該生產(chǎn)線實(shí)現(xiàn)批量生產(chǎn)，年產(chǎn)壓敏傳感芯片50萬顆，至2021年一期工程順利完工投產(chǎn)，用地面積35畝，建設(shè)總用地面積2萬多平米，傳感器芯片年生產(chǎn)能力可達(dá)600萬顆，傳感器封裝200萬支，年產(chǎn)值可達(dá)10億元。
二期項(xiàng)目正在進(jìn)行，預(yù)計(jì)完工后，傳感器芯片產(chǎn)能將達(dá)2000萬顆，傳感器封裝1000萬支，年產(chǎn)值可達(dá)50億元。
21、高德紅外（IDM）
高德紅外創(chuàng)立于1999年，總部位于武漢，擁有8 英寸 0.25um 批產(chǎn)型 MEMS 生產(chǎn)線，是目前國內(nèi)唯一一條自主可控且具備批產(chǎn)能力的非制冷紅外焦平面探測器生產(chǎn)線，已實(shí)現(xiàn)從 120×90 到 1280×1024 從低到高各類面陣規(guī)格產(chǎn)品型號批產(chǎn)能力。
高德紅外目前已擁有3條8英寸紅外探測器產(chǎn)線，據(jù)2021年8月消息，年底將有新產(chǎn)線投產(chǎn)，并提高3~4倍產(chǎn)能。
22、武漢衍熙微器件（IDM）
武漢衍熙微器件擁有全國第一條8寸體聲波（BAW）量產(chǎn)線，具有先進(jìn)的光刻、薄膜、蝕刻以及封裝設(shè)備，并建立創(chuàng)新自主開發(fā)的產(chǎn)品生產(chǎn)流程。該產(chǎn)線主要產(chǎn)品有MEMS濾波器、雙工器等。
2018年，武漢衍熙微器件進(jìn)行項(xiàng)目擴(kuò)建，一期為租賃現(xiàn)有廠房5600平方米，建設(shè)3600平方米的無塵室車間；二期計(jì)劃建設(shè)約10000平方米的無塵室車間，用于擴(kuò)大生產(chǎn)。
23、杭州士蘭微電子（IDM）
杭州士蘭微1997年成立，是國內(nèi)規(guī)模最大的集成電路芯片設(shè)計(jì)與制造一體（IDM）的企業(yè)之一。
自2010年開始，士蘭微電子投入大量資金，通過對加速度傳感器、地磁傳感器、壓力傳感器等一系列傳感器產(chǎn)品的開發(fā)，在6吋、8吋芯片生產(chǎn)線上實(shí)現(xiàn)了批量制造能力，并建立自己的MEMS封測生產(chǎn)線，初步走通了系列傳感器的IDM發(fā)展之路，已申請相關(guān)發(fā)明專利百余項(xiàng)。
目前士蘭微MEMS傳感器產(chǎn)品系列豐富，有：MEMS加速度計(jì)、三軸AMR磁傳感器、六軸慣性傳感器、高性能MEMS麥克風(fēng)、數(shù)字三合一傳感器、心率傳感器、高性能氣壓壓力傳感器等。
2021年7月30日，士蘭微發(fā)出資產(chǎn)重組公告，引入國家集成電路產(chǎn)業(yè)投資基金股份有限公司，募集11億元。
24、蘇州固锝（IDM）
蘇州固锝成立于1990年，是國內(nèi)二極管龍頭企業(yè)，旗下子公司明銳光電、明皜傳感、艾特曼電子等涉足MEMS傳感器IDM業(yè)務(wù)。
2010年固锝收購明銳光電，明銳光電主要從事MEMS-CMOS三維集成制造平臺技術(shù)及八寸晶圓級封裝技術(shù)及產(chǎn)線和產(chǎn)品研發(fā)。
2011年成立明皜傳感，從事微機(jī)電傳感器芯片和器件的工藝開發(fā)、設(shè)計(jì)。2021年8月，明皜傳感獲小米投資，注冊資本由 6443.64 萬元人民幣增加至 7085.19 萬元人民幣，增幅為 9.96%。
2021年6月，蘇州固锝與華景傳感合資成立華锝半導(dǎo)體，愿景是將華景傳感的MEMS麥克風(fēng)芯片設(shè)計(jì)技術(shù)與蘇州固锝的封測技術(shù)及生產(chǎn)經(jīng)驗(yàn)相結(jié)合，逐步實(shí)現(xiàn)MEMS麥克風(fēng)在高端領(lǐng)域的進(jìn)口替代。
同月，華锝MEMS聲學(xué)傳感器及射頻濾波器封測項(xiàng)目落戶蘇州。項(xiàng)目一期產(chǎn)線將建立符合華為體系標(biāo)準(zhǔn)的MEMS聲學(xué)傳感器的封測基地，主要客戶有小米、科大訊飛等；二期將引入國內(nèi)首創(chuàng)MEMS麥克風(fēng)及射頻濾波器的WLP晶圓級封裝產(chǎn)線，該晶圓級封裝為芯片流片工藝最后一道關(guān)鍵工藝，華锝將擁有自主晶圓級封裝相關(guān)自主技術(shù)知識產(chǎn)權(quán)。
25、沈陽儀表科學(xué)研究院（中試線）
沈陽儀表科學(xué)研究院傳感器國家工廠研究中心是我國唯一的國家級傳感器工程研究中心，在中國傳感器研發(fā)、生產(chǎn)、應(yīng)用等方面有著舉足輕重的地位。是我國傳感器標(biāo)準(zhǔn)起草牽頭單位、傳感器行業(yè)協(xié)會理事長單位。
研究中心建有4英寸中試線，主要用于MEMS傳感器研發(fā)生產(chǎn)使用。
26、蘇州納米城（中試線）
蘇州納米城6英寸MEMS中試線由蘇州納米科技發(fā)展有限公司（蘇州工業(yè)園區(qū)政府出資）建設(shè)，是江蘇省十二五重大科技平臺項(xiàng)目。
蘇州6英寸微納機(jī)電制造（MEMS）中試線采用市場化、全開放的運(yùn)作模式，主要開展MEMS產(chǎn)品工藝研發(fā)、MEMS加工、部分封裝測試、專利運(yùn)營、設(shè)備租賃、超凈場地租賃、工藝技術(shù)培訓(xùn)等十多項(xiàng)專業(yè)服務(wù)，目前已成功導(dǎo)入壓力傳感器、微鏡傳感器、微流體傳感器等產(chǎn)品
27、蘇州納米技術(shù)與納米仿生研究所（中試線）
中國科學(xué)院蘇州納米技術(shù)與納米仿生研究所由中國科學(xué)院與江蘇省人民政府、蘇州市人民政府和蘇州工業(yè)園區(qū)于2006年共同創(chuàng)建。研究所前瞻布局了電子信息、納米材料、生物醫(yī)學(xué)等重點(diǎn)研究領(lǐng)域，建設(shè)有用于MEMS器件研發(fā)使用的代工產(chǎn)線。
28、淄博高新區(qū)6英寸中試線
該產(chǎn)線由清華大學(xué)、淄博高新區(qū)MEMS研究院和國高(淄博)微系統(tǒng)科技有限公司共同完成。
是國內(nèi)首條硅基4/6英寸兼容MEMS中試代工平臺，超凈規(guī)模國內(nèi)一流；配備了國際一流設(shè)備的中試代工線，中試生產(chǎn)能力可達(dá)月產(chǎn)傳感器十萬只，產(chǎn)品的測試環(huán)境也居國內(nèi)先進(jìn)水平。
29、兵器214所（中試線）
蚌埠兵器214所智能傳感器創(chuàng)新中心已建成國家級微電子機(jī)械系統(tǒng)(MEMS)國家地方聯(lián)合工程實(shí)驗(yàn)室和6英寸MEMS智能傳感器研制生產(chǎn)工藝線，具有設(shè)計(jì)、制造、封裝、篩選測試及應(yīng)用的全產(chǎn)業(yè)鏈研制生產(chǎn)能力，擁有豐富的完全自主知識產(chǎn)權(quán)的MEMS技術(shù)，核心發(fā)明專利300余項(xiàng)，產(chǎn)品覆蓋高端慣性傳感器、壓力傳感器、光MEMS傳感器、流量傳感器以及氣體傳感器等，是國內(nèi)MEMS龍頭企業(yè)和工信部傳感器一條龍示范企業(yè)。
30、中科院微電子所（中試線）
2016年由中科院微電子所設(shè)立的MEMS研發(fā)平臺，其8英寸MEMS中試線工藝穩(wěn)定性達(dá)到98%；針對三軸重力加速度計(jì)、基于氧化釩的紅外圖像傳感器、醫(yī)用CT中X-ray探測、基于薄膜體聲波濾波器（FBAR）、MEMS紅外探測器等產(chǎn)品。
31、上海微技術(shù)工研院（中試線）
2017年，上海微技術(shù)工業(yè)研究院（以下簡稱工研院）構(gòu)建的國內(nèi)首條，全球領(lǐng)先，兼容CMOS的8英寸研發(fā)中試線正式投入運(yùn)營，月產(chǎn)量將達(dá)到3000件。
該產(chǎn)線部署了MEMS、硅光子、RF、硅基III-V族、3D集成、MR磁傳感、功率及生物等相關(guān)工藝和量測設(shè)備。作為國內(nèi)第一條先進(jìn)8英寸研發(fā)中試線，SITRI的8英寸研發(fā)中試線不僅可承擔(dān)產(chǎn)品研發(fā)、小批量生產(chǎn)、技術(shù)培訓(xùn)、設(shè)備驗(yàn)證等服務(wù)，有助于提升研發(fā)的成功率。
今年6月，上海微技術(shù)工研院宣布將8英寸線每年四分之一的總機(jī)時(shí)資助給上海大學(xué)，用于微電子學(xué)院教學(xué)實(shí)踐，為期5年。
32、中科院電子學(xué)研究所（研發(fā)平臺）
中國科學(xué)院電子學(xué)研究所（以下簡稱電子所）創(chuàng)建于1956年，現(xiàn)已并入中國科學(xué)院空天信息創(chuàng)新研究院，是我國第一個(gè)綜合型電子與信息科學(xué)研究所，設(shè)有傳感技術(shù)聯(lián)合國家重點(diǎn)實(shí)驗(yàn)室(北方基地)，建有用于MEMS研發(fā)使用的MEMS產(chǎn)線。
33、中科院上海微系統(tǒng)所（研發(fā)平臺）
中國科學(xué)院上海微系統(tǒng)所設(shè)有傳感技術(shù)聯(lián)合國家重點(diǎn)實(shí)驗(yàn)室(北方基地)，現(xiàn)有的MEMS技術(shù)平臺由微系統(tǒng)加工平臺和微系統(tǒng)封裝平臺兩部分組成，分別位于上海微系統(tǒng)所漕河涇園區(qū)內(nèi)主樓的一層和二層凈化間內(nèi)。
整個(gè)平臺擁有100多臺套先進(jìn)的大中型設(shè)備，總價(jià)值達(dá)1.1億元，可以完成從微芯片制造、芯片封裝、器件測試、微系統(tǒng)集成等成套工藝，為微系統(tǒng)研究提供有力的技術(shù)保障。
結(jié)語
從以上對33條中國MEMS傳感器芯片產(chǎn)線的介紹中，我們可以看到，許多MEMS產(chǎn)線均為近幾年才陸續(xù)投產(chǎn)，且規(guī)模普遍較小，產(chǎn)線產(chǎn)品單一，這也是我國目前高端MEMS傳感器芯片市場凄慘境況的一個(gè)側(cè)面。
因?yàn)槊糠N類型的MEMS傳感器具有一定的獨(dú)立性，這點(diǎn)區(qū)別于芯片的Fabless業(yè)務(wù)，擁有自己MEMS產(chǎn)線的企業(yè)在研發(fā)和生產(chǎn)傳感器上有天然的優(yōu)勢，而許多國際傳感器大廠往往也保留有自己的MEMS產(chǎn)線。
希望接下來中國MEMS傳感器芯片產(chǎn)線越開越多！你看好中國高端MEMS傳感器的未來嗎？
