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MEMS傳感器是神馬?
2022-05-07
文章詳情


我們先把MEMS感應器做一個簡單的介紹:

MEMS的全稱是小型電子零件機械控制系統(tǒng)(Micro-ElectroMechanicalSystem),微機電控制系統(tǒng)是指可批量制作的,將小型機構、小型感應器、小型執(zhí)行器信號處理和控制電路、直至接口、通信和電源等于一體的小型元件控制系統(tǒng)。你可以把它理解為利用現(xiàn)代積體電路工藝和材料,用微米核心技術晶片仿制小型機械,并將其與對應電路內(nèi)置為一個整體的核心技術。所以它是以積體電路仿制核心技術為基礎經(jīng)濟發(fā)展起來的一種先進的仿制核心技術平臺。

優(yōu)點:相對于現(xiàn)代的機械,它們的尺寸更小,最小的不少于一個厘米,甚至僅僅為幾個微米,其厚度就更加微小。采用以硅為主的材料,電氣操控性優(yōu)良,硅材料的強度、硬度和楊氏模量與鐵相當,密度與鋁類似,熱傳導率吻合鉬和鎢。采用與器件(IC)類似的生成核心技術,可大量利用IC生產(chǎn)中的成熟核心技術、工藝,進行大批量、低成本生產(chǎn),使性價比相對于現(xiàn)代機械仿制核心技術大幅度提高。

現(xiàn)代的駐極體話筒


MEMS話筒

如果前面的文字理解不了,從這上面這個現(xiàn)代麥克和MEMS話筒的圖片可以看出來了,之前的七八種機械配件就全部內(nèi)置在了一塊很小的MEMS感應器晶片了了。所以這個體積是小,重量也輕。由于是晶片仿制,一致性好、功耗低,更易于批量生產(chǎn)。核心技術指示那就高了。

MEMS感應器的出現(xiàn)極大的滿足了大家對商品小體積、高操控性指示。

MEMS感應器的分類:

MEMS感應器的種類繁多,分類方法也很多。下面是按照工作原理分類如下:


其中每一種MEMS感應器又有很多種細分方法。如會量,按檢測質(zhì)量的體育運動方式劃分,有角振動式和線振動式會量等,種類繁多,常見的MEMS感應器阻力感應器、快速感應器、微機械傳感器、慣性力感應器、MEMS硅話筒等等; MEMS感應器的品種多到可以以萬為單位,且不同MEMS之間參量較多,沒有完全標準的工藝。這種行業(yè)特性讓MEMS感應器仿制民營企業(yè)前期的研制投入過大,單品種的銷量很難放大。以慣性力感應器為例,其消費需求市場盈虧平衡體量為月產(chǎn)1000萬只,即民營企業(yè)須至少每月生產(chǎn)1000萬只慣性力感應器才能保持不虧本狀態(tài),根據(jù)調(diào)查,國內(nèi)絕大多數(shù)民營企業(yè)都遠低于這一體量。國內(nèi)最小的純MEMS感應器子公司美新至今是虧損的。所以只有民營企業(yè)做的越大它的投資回報率能力才越強。

MEMS感應器應用專業(yè)領域

MEMS感應器作為獲取信息的關鍵元件,對各式各樣傳感裝置的小型化起著巨大的推動作用,已在太空衛(wèi)星、運載火箭、航空航天電子設備、飛機、各式各樣工程車、生特醫(yī)學及消費需求電子零件商品專業(yè)領域中得到了廣為應用專業(yè)領域。MEMS感應器典型應用專業(yè)領域如下圖。


智能機上,MEMS感應器提供在聲音操控性、場景切換、手勢識別、方向定位、溫度/阻力/濕度感應器廣為應用專業(yè)領域;在電動車上,MEMS感應器借助氣囊碰撞感應器輪胎氣壓監(jiān)測控制系統(tǒng)(TPMS)和工程車穩(wěn)定性控制增強工程車操控性。;醫(yī)療保健專業(yè)領域,通過MEMS感應器研成功制出小型胰島素注射泵,并使心臟搭橋移植和人工細胞組織淪為現(xiàn)實中可實際采用的治療方式;在可佩戴應用專業(yè)領域中,MEMS感應器可實現(xiàn)體育運動追蹤、心跳速率測量等。

MEMS感應器典型應用專業(yè)領域舉例:


隨著電子零件核心技術經(jīng)濟發(fā)展,MEMS的應用專業(yè)領域專業(yè)領域越來越廣為,由最早的工業(yè)、軍用航空應用專業(yè)領域走向普通的消費需求消費需求市場。 軍用與航空屬于所謂的高商業(yè)價值MEMS應用專業(yè)領域專業(yè)領域這兩個專業(yè)領域的用量太小了,一年也就四千萬美元左右,快速增長空間也是有限的。醫(yī)療保健電子零件上的MEMS元件商業(yè)價值也不錯,它的感應器的平均銷售價格遠高于其它可比的MEMS專業(yè)領域整體來看,一年高商業(yè)價值MEMS產(chǎn)業(yè)經(jīng)濟發(fā)展的營業(yè)收入將達至3萬美元左右。應用專業(yè)領域廣為的當屬于電動車電子零件產(chǎn)業(yè)經(jīng)濟發(fā)展消費需求電子零件應用專業(yè)領域消費需求市場,這兩大專業(yè)領域占了MEMS感應器消費需求市場的60%以上。我們下面預測一下這兩個主要就應用專業(yè)領域專業(yè)領域。

電動車電子零件MEMS感應器


電動車電子零件產(chǎn)業(yè)經(jīng)濟發(fā)展被認為是MEMS感應器的第一波應用專業(yè)領域高潮的推動者,MEMS感應器電動車應用專業(yè)領域的快速經(jīng)濟發(fā)展主要就是受益于各國政府全面面世電動車安全規(guī)定(比如指示所有電動車采用TPMS控制系統(tǒng))和電動車智慧化的經(jīng)濟發(fā)展趨勢。亞洲平均每輛電動車包含10個感應器,在高檔電動車中,大約采用25至40只MEMS感應器,車越好,所用的MEMS就越多,BMW740i電動車上就有70多只MEMS。MEMS感應器可滿足電動車環(huán)境苛刻、可靠性高、精度準確、成本低的指示。其應用專業(yè)領域方向和消費需求市場需求包括工程車的防抱死控制系統(tǒng)(ABS)、電子零件車身穩(wěn)定程序(ESP)、電控懸掛(ECS)、電動手剎(EPB)、斜坡起動輔助(HAS)、輪胎氣壓監(jiān)控(EPMS)、引擎防抖、工程車傾角計量和車內(nèi)心跳檢測等等。

目前,阻力感應器、快速計、傳感器與流量感應器四類元件合計占電動車MEMS控制系統(tǒng)的99%。其五年快速增長率均在3-12%。MEMS阻力感應器電動車應用專業(yè)領域最多的感應器電動車用MEMS阻力感應器的價格大概在5~7美元。在電動車專業(yè)領域,MEMS阻力感應器營業(yè)收入2013年預計今年達至12.6萬美元,占當年整體產(chǎn)業(yè)經(jīng)濟發(fā)展營業(yè)收入的74%。至少18個電動車應用專業(yè)領域專業(yè)領域將促進阻力感應器快速增長,包括:輪胎阻力,電子零件穩(wěn)定控制控制系統(tǒng)中的剎車感應器,側(cè)面氣囊,與日益嚴格的排放標準相關的引擎控制,大氣阻力與廢氣再循環(huán)阻力。

營業(yè)額計算,最小的五種電動車MEMS應用專業(yè)領域按降序位列是:ESC,安全氣囊,進氣歧管絕對阻力(MAP),TPMS與翻滾探測。

亞洲電動車MEMS營業(yè)收入預估 (以100萬美元計)


整體來看,2010-2015年我國仍將是亞洲第三大電動車MEMS感應器用戶,領先于日本列入其它地區(qū)的眾多國家。北美將繼續(xù)位居第一,歐洲位列第二。預計今年2015年整體汽車MEMS營業(yè)額達至30萬美元,比2012年的24萬美元增長25%。我國電動車MEMS感應器遠遠快于亞洲的平均快速增長速度。15年中國汽車MEMS營業(yè)額快速增長到3.879萬美元,而2010年是1.943萬美元。

電動車電子零件用MEMS感應器供應商預測


2012年10大電動車MEMS感應器仿制的營業(yè)收入 (以百萬美元計)

如表1所示,Bosch2012年電動車MEMS營業(yè)收入高達6.25萬美元,遙遙領先于第二名日本Denso的2.96萬美元。前10名供應商的合計營業(yè)收入為21萬美元,去年整體電動車MEMS產(chǎn)業(yè)經(jīng)濟發(fā)展營業(yè)收入為23萬美元,10大供應商合計份額吻合94%。所以電動車用MEMS的產(chǎn)業(yè)經(jīng)濟發(fā)展滲透率高的。沒有一家源自我國商家。

Bosch電動車上MEMS感應器的成功不僅是他的核心技術水平高,商品寬,不僅是最小阻力傳感仿制,也是低壓專業(yè)領域MEMS的頭號仿制,尤其是在電子零件穩(wěn)定控制(ESC)控制系統(tǒng)專業(yè)領域,該子公司快速計、傳感器阻力感應器主要就仿制。為了順應趨勢,把快速計與傳感器PCB在一起(女團感應器)以降低ESC控制系統(tǒng)生產(chǎn)商整體成本.

消費需求電子零件MEMS感應器

隨著消費需求電子零件專業(yè)領域經(jīng)濟發(fā)展商品創(chuàng)新不斷涌現(xiàn),特別是受益于智能機智能智能手機電板的快速經(jīng)濟發(fā)展,消費需求電子零件已經(jīng)取代電動車專業(yè)領域淪為MEMS最小應用專業(yè)領域消費需求市場。

Yole Developpement研究報告預估,2013至2018年間,亞洲消費需求電子零件MEMS感應器消費需求市場將以18.5%的年直線型快速增長快速增長,到2018年將達至64萬美元

應用專業(yè)領域智能手機智能智能手機計算機中的MEMS感應器幾乎占了消費需求電子零件MEMS感應器消費需求市場的90%。消費需求市場體量將從2013年的28.5萬美元快速增長到2019年的64萬美元銷售量將從2013年的58億個快速增長到2019年的189億個。


亞洲智能機智能智能手機計算機用MEMS消費需求市場(數(shù)據(jù)來源:Yole Developpement2013/07)

MEMS感應器消費需求電子零件專業(yè)領域應用專業(yè)領域包括體育運動/墜落檢測、導航數(shù)據(jù)補償、游戲/人機界面、電源管理、GPS增強/盲區(qū)消除、速度/距離計數(shù)等等,這使其滲透力遠遠少于現(xiàn)代意義上的積體電路晶片,那些MEMS核心技術都在很大程度上提高了用戶體驗。在所有的專業(yè)領域中,智能手機是MEMS最小應用專業(yè)領域專業(yè)領域應用專業(yè)領域最多的感應器快速計、傳感器與MEMS硅話筒,其中會量是該消費需求市場中第一大應用專業(yè)領域商品。而近期傳感器快速增長迅速,已經(jīng)淪為會量后的第二大應用專業(yè)領域商品。MEMS話筒營業(yè)額2014年已經(jīng)吻合10萬美元,IHS表示亞洲MEMS話筒消費需求市場仍將連續(xù)5年維持18%的年直線型成長率(CAGR)。還有許多MEMS感應器正處于研制階段或剛進入消費需求市場的,例如independently、指紋感應器、環(huán)境感應器、MEMS智能手機攝像頭等。


ST(意法積體電路)是亞洲消費需求電子零件與移動終端消費需求市場無可爭議的冠軍。該子公司自2009年以來就雄踞榜首,去年強勁快速增長22%,占整體消費需求市場的27%。傳感器快速計是其主要就商品,前幾大商家滲透率相對電動車類MEMS又低了不少,主要就是因為消費需求類MEMS指示相對較高。

亞洲MEMS感應器供應商預測

IHS iSuppli公布2012年亞洲前二十大MEMS仿制排行


2013年Bosch的MEMS營業(yè)額成長了26%,達至10萬美元;淪為亞洲MEMS最小仿制,Bosch是知名的車用MEMS仿制,2013年電動車應用專業(yè)領域消費需求市場在該子公司整體MEMS銷售中占據(jù)74%;IHS指出,Bosch的會量不只在我國智能機消費需求市場稱霸,也供應蘋果(Apple)iPhone 5s與5ciPad Air。此外Bosch 也是三星(Samsung)智能手機智能智能手機計算機采用阻力感應器第一大仿制,該子公司已經(jīng)開始量產(chǎn)在單PCB結(jié)合會量傳感器的6軸慣性力感測元件(IMU),供應給Sony、三星與 HTC等客戶。

IHS估計2013年亞洲MEMS消費需求市場銷售達至89.6萬美元。2013年亞洲前二十大MEMS仿制總計銷售收入為69.9萬美元,占據(jù)整體消費需求市場銷售收入的78%。這個滲透率還是高的。在這榜上的基本上都是歐美和日系商家。這個榜單上唯一源自我國供應商是AAC位列在第十九位,它的營業(yè)額主要就源自于MEMS硅話筒。

亞洲MEMS感應器供應商位列前30位,智能手機智能智能手機計算機占各個供應商比例


由于消費需求電子零件MEMS感應器價格指示較高,很多商家并沒有進入這個應用專業(yè)領域專業(yè)領域,這今后留給了我國供應商的機會。位列第29名的是我國歌爾股份電子零件,它的營業(yè)額主要就源自于MEMS硅話筒,是亞洲位列第三的MEMS硅話筒。源自另外一家我國MEMS感應器商家,美新積體電路子公司并沒有上榜,美新積體電路子公司的2012年的營業(yè)額是6400萬美元,應該是吻合這個榜單。

MEMS感應器消費需求市場經(jīng)濟發(fā)展態(tài)勢

美國著名消費需求市場研究子公司Yole Développement預估,作為智能感知時代的重要硬件基礎, 2014年MEMS感應器消費需求市場體量達至130萬美元,預計今年到2018年,MEMS消費需求市場產(chǎn)值將以12%~13%的直線型快速增長快速增長至225萬美元,單位銷售量達至23.5億。

2014年消費需求應用專業(yè)領域體量達至59萬美元,到2019年預計今年少于100萬美元,年直線型快速增長率約11.2%。在今后消費需求應用專業(yè)領域依然會是MEMS感應器消費需求市場最小消費需求市場。而成長最快的是醫(yī)療保健消費需求市場,將從今年的24.5萬美元快速增長至2019年的72萬美元左右,年直線型快速增長率近30%!

在今后5到10年內(nèi),消費需求類MEMS主要就應用專業(yè)領域專業(yè)領域仍然是智能機智能智能手機計算機。MEMS的應用專業(yè)領域專業(yè)領域將逐漸擴大,包括正在興起的可佩戴電子設備、物聯(lián)網(wǎng)等。雖然可佩戴電子設備現(xiàn)在它的比例還比較小,目前還不到10%,現(xiàn)在蘋果、三星、華為都已經(jīng)紛紛面世許多佩戴商品,有點像當初的智能機面世進的狀態(tài),今后肯定會淪為MEMS感應器快速增長最快的消費需求市場還有關于物聯(lián)網(wǎng),可能要5到10年以后,智能家居、智能城市有了很好的經(jīng)濟發(fā)展,物聯(lián)網(wǎng)在MEMS感應器應用專業(yè)領域方面會有很好的經(jīng)濟發(fā)展,在這之前很難看到在物聯(lián)網(wǎng)方面MEMS感應器經(jīng)濟發(fā)展。

商業(yè)價值MEMS感應器消費需求市場2013年的消費需求市場銷售收入從2012年的15萬美元增至16萬美元,預計今年2013年仍將持續(xù)其快速增長態(tài)勢,據(jù)消費需求市場研究機構IHS報告顯示,2013年將快速增長6.3%。其中測試測量、軍事和民用航天、醫(yī)療保健電子零件和工業(yè)應用專業(yè)領域四個專業(yè)領域將會占2013年高商業(yè)價值MEMS消費需求市場銷售收入的80%。前十大高商業(yè)價值MEMS仿制所占的消費需求市場份額剛剛少于42%。由于高商業(yè)價值MEMS感應器消費需求市場的高度分散,21種商品甚至可以用于少于100種不同的應用專業(yè)領域,為各式各樣內(nèi)置供應商留下足夠的生存空間,在買進那些MEMS積體電路之后,內(nèi)置供應商將其PCB感應器,其平均售價可以達至數(shù)萬美元。

備注:Yole Développement的統(tǒng)計數(shù)據(jù)比HIS的數(shù)據(jù)上大了30%,他們判斷的快速增長趨勢是一樣的。這不影響我們的預測。


今后各式各樣MEMS感應器預測

阻力感應器廣為應用專業(yè)領域電動車和工業(yè)消費需求市場,如今消費需求電子零件消費需求市場對其需求量也越來越多,因此阻力感應器將繼續(xù)保持最小的MEMS消費需求市場體量。Yole Développement預測預估,明年MEMS阻力感應器消費需求市場體量達至20萬美元,2018年將突破30萬美元智能機采用到很多MEMS元件,如會量、傳感器、硅話筒、BAW濾波器和雙工器,醫(yī)療保健保健行業(yè)采用的生物感應器、微流量感應器應用專業(yè)領域也很廣為,快速增長也很快。

還有一個特殊的品種女團感應器。隨著核心技術的進步,大家對商品操控性指示也在提升,比如室內(nèi)導航,單純采用會量的方案就只能準確地描述線性(直線體育運動如果需要旋轉(zhuǎn)體育運動(有轉(zhuǎn)彎變化的體育運動),需要設計者同時用到傳感器會量。還有就是本身一個商品會有不同的功能需求,會配置幾個MEMS感應器,那些商品設計上空間越來越小,女團使MEMS感應器控制系統(tǒng)具有天然優(yōu)勢。女團MEMS感應器能節(jié)約成本(如會量傳感器在一個PCB內(nèi)共享ASIC)。隨著消費需求電子零件消費需求市場女團式MEMS感應器的需求日益劇增,女團式MEMS感應器消費需求市場經(jīng)濟發(fā)展速度將遠遠高于其他MEMS元件。國際上大子公司InvenSense、ST等都大量的面世女團感應器。Yole Développement預估今后6年,女團MEMS感應器直線型快速增長率將高達43%,到2018年消費需求市場體量將突破20萬美元

根據(jù)消費需求市場研究機構YoleDéveloppement的報告顯示,受到智能機和微流控應用專業(yè)領域驅(qū)動,新興MEMS今后6年直線型快速增長率高達53%,2018年將少于20萬美元,占整個MEMS消費需求市場體量的10%。YoleDéveloppement定義的新興MEMS包括:化學和輻射感應器、掃描微鏡、硅基微流控、MEMS開關、觸摸屏、AOCMEMS、IDMEMS、能量收集器、微顯示器、超聲波MEMS、操縱桿、小型燃料電池。

2013~2019年各式各樣類MEMS感應器消費需求市場預估


我國的MEMS感應器經(jīng)濟發(fā)展態(tài)勢預測

我國作為亞洲最小電子零件商品生產(chǎn)基地,消耗了亞洲四分之一的MEMS元件,吸引了亞洲的目光。就目前來看,我國大部分MEMS及感應器仍依賴進口,在2013年亞洲top 50 MEMS仿制我國供應商僅有三家,AAC、Goertek和美新。位列最高的AAC營業(yè)額也沒有少于1億美金。最近六、七年以來,國內(nèi)對MEMS慣性力感應器研制熱度很高,尤其是2005年~2008年,而且大多集中在國內(nèi)的頂尖研究機構。清華大學、北京大學、中科院、電子零件26所等,還有許多海外歸國人員創(chuàng)下了許多MEMS感應器民營企業(yè)如美新積體電路、蘇州敏芯微電子零件、深迪積體電路(上海)有限子公司等。我國的MEMS產(chǎn)業(yè)經(jīng)濟發(fā)展生態(tài)控制系統(tǒng)也正逐步完善,從研制、開發(fā)、設計、代工、封測到應用專業(yè)領域,產(chǎn)業(yè)經(jīng)濟發(fā)展鏈已基本形成,上海、蘇州、無錫都形成了研制中心。那些MEMS民營企業(yè)雖然銷售量低,許多中低端消費需求消域還是有些竟爭力了。MEMS話筒仿制AAC, Goertek, Gettop等通過收購英飛凌的MEMS和ASIC晶片然后自己PCB。美新(MEMSIC)的會量independently,深迪(Senodia)的independently傳感器,明皜(MiraMEMS)會量、independently、6軸電子零件羅盤,矽睿(QST)會量independently。

由于MEMS感應器消費需求端的應用專業(yè)領域已經(jīng)由高端消費需求市場逐步擴散到許多中低端智能手機、可佩戴電子設備。這一塊的應用專業(yè)領域消費需求市場今后也很大。我國MEMS子公司由于與國際大子公司核心技術差距,今后會集中進攻中低端消費需求MEMS專業(yè)領域。在那些指示不高的專業(yè)領域還是有很強的竟爭力。



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