大家好今天和大家一起聊一下MEMS傳感器，首先我們要了解一下什么是MEMS技術(shù)。MEMS就是Micro-Electro-Mechanical system微機(jī)電系統(tǒng)英文單詞的縮寫，它是將微電子電路技術(shù)與微機(jī)械系統(tǒng)融合到一起的工業(yè)技術(shù)。他的尺寸范圍一般是在微米范圍，微機(jī)電系統(tǒng)由尺寸為1到100微米的部件組成。一般微機(jī)電設(shè)備的通常尺寸在20微米到1毫米之間。
接下來我們來了解一下利用MEMS技術(shù)生產(chǎn)制造出來的傳感器，為什么會(huì)有MEMS傳感器呢？因?yàn)閷?duì)于做傳感器芯片的公司來說，為了適應(yīng)更智能化小型化需求，會(huì)利用MEMS技術(shù)來生產(chǎn)和設(shè)計(jì)一些傳感器，這樣傳感器的體積會(huì)更小，一般長(zhǎng)寬高都在毫米級(jí)別，在現(xiàn)代化的生活當(dāng)中，其實(shí)我們身邊絕對(duì)少不了MEMS傳感器。比如我們使用的智能手機(jī)、智能手環(huán)、智能手表等，這些現(xiàn)代化的可穿戴設(shè)備里面都至少使用了MEMS加速度傳感器或者陀螺儀，有的甚至還會(huì)使用地磁傳感器。就拿我們比較熟悉的微信運(yùn)動(dòng)步數(shù)來說，他就是利用這些傳感器來檢測(cè)你的運(yùn)動(dòng)狀態(tài)。所以說MEMS傳感器已經(jīng)和我們的生活息息相關(guān)無處不在。
那MEMS傳感器有哪些部分組成呢？第一個(gè)肯定是必須要有一個(gè)MEMS單元；第二個(gè)ASIC電路；第三個(gè)解耦單元；第四個(gè)就是連線，需要把MEMS單元和ASIC電路連接起來；第五就是承載這些部分的PCB板。通過這些單元共同組成了一個(gè)MEMS傳感器。
市面上常見的MEMS傳感器，測(cè)量物體加速度的加速度傳感器、測(cè)量角速度的陀螺儀傳感器、可以將各種磁場(chǎng)及其變化的量轉(zhuǎn)變的電信號(hào)的地磁傳感器，以及氣壓傳感器、溫度傳感器、壓力傳感器、電場(chǎng)傳感器等。
實(shí)際應(yīng)用當(dāng)中，大部分情況都需要將這些傳感器結(jié)合在一起使用，組合成感知更加豐富的系統(tǒng)。例如蘇州邈航公司所生產(chǎn)的慣性測(cè)量單元就是結(jié)合了MEMS陀螺儀及加速度計(jì)?？梢酝瑫r(shí)輸出載體的角速度和加速度信息。結(jié)合陀螺儀、加速度計(jì)、磁羅盤、氣壓計(jì)、溫度計(jì)生產(chǎn)的航姿參考系統(tǒng)，可以提供載體航姿及航向信息。結(jié)合陀螺儀、加速度計(jì)、磁羅盤、氣壓計(jì)、溫度計(jì)、衛(wèi)星接收機(jī)生產(chǎn)的組合導(dǎo)航系統(tǒng)，可以提供載體航姿、航向。位置等信息。與傳統(tǒng)的產(chǎn)品相比利用MEMS技術(shù)生產(chǎn)的設(shè)備擁有體積小、重量輕、功耗低、可靠性高等特點(diǎn)。已廣泛應(yīng)用于可穿戴設(shè)備、無人機(jī)、無人船、無人車、機(jī)器人等領(lǐng)域。
