溫度、壓力、流量是工業(yè)中3大檢測參數(shù)，其中，流量測量有很長的歷史。
近年來，隨著對微電子機械系統(tǒng)(MEMS)的深入研究和取得的進展，傳統(tǒng)的工業(yè)和流體力學研究的流量傳感器向高集成度、微型化、高精度、高可靠性方向發(fā)展，微型流量傳感器已成為MEMS的重要研究方向。
MEMS熱式流量傳感器是基于流體傳熱學原理的一類傳感器，利用 MEMS 熱式原理對管路氣體介質進行流量監(jiān)測。
流量芯片由兩個熱偶堆和一個加熱電阻組成，熱偶堆對稱的分布在加熱電阻的上、下游，加熱電阻和熱偶堆的熱結處于一個隔熱底座上。
當流體靜止時，加熱電阻兩側對稱位置的溫度是相同的，當流體從右向左流動時等溫線向左側傾斜，加熱電阻兩側對稱位置的溫度不再相同，溫差可由置于加熱電阻兩側的熱偶堆測定。由于流體的傳熱只與流體質量和流體的熱容有關，因此傳感器可以直接測出流體質量流量。
煒盛科技自主研發(fā)的微流量傳感器于2012年即成功面世并取得相關專利，同時我們還參與起草了《JB/T 13111-2017 熱式質量流量傳感器》的行業(yè)標準。
2022年，在原有的MEMS熱式微流量傳感器基礎上，煒盛科技升級推出FR03/FR03H/FR06/FR20新款流量傳感器，采用低壓損設計，廣泛用于各類氣體流量測量。
微流量傳感器是利用熱力學原理對流道中的氣體介質進行流量檢測，具有很好的精度與重復性。在工業(yè)生產、科學實驗、產品質量把控、生產效率提高、能源節(jié)約等方面發(fā)揮著重要作用。
醫(yī)療領域
流量傳感器在醫(yī)療領域，如：醫(yī)院病床供氧、樓層管道供氧以及呼吸機、制氧機、麻醉機中有廣泛的應用。
儀器儀表
在儀器儀表領域，原子分光光度計、氣相色譜、氣密檢漏儀、風速計等設備中，也會用到流量傳感器。
其他領域
流量傳感器在空氣采樣器、打火機自動調火設備這類工業(yè)過程控制、空氣和環(huán)境保護領域也有應用。
